磁性聯(lián)軸器多用于在高真空、高潔凈度、有毒、腐蝕性，或其它惡劣環(huán)境中將動力從主動軸傳遞給從動軸。由于采用了隔離密封套的形式，化動態(tài)密封為靜態(tài)密封，從而可實現(xiàn)零泄露。它的一個重要應用是作為真空晶圓輸送機器人動態(tài)密封技術的核心組件，因此，倍受半導體主流鏈機設備廠商的關注。磁性聯(lián)軸器的優(yōu)化設計，直接影響真空機器人的傳動性能。
磁性聯(lián)軸器由內(nèi)、外軛鐵和設置其上的瓦形磁體組成的內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子以及內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子間的氣隙中設置的隔離套組成。磁力泵由電動機驅(qū)動外磁轉(zhuǎn)子，外磁轉(zhuǎn)子通過磁力作用帶動與葉輪一體的內(nèi)磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子之間有隔離套隔開，從而實現(xiàn)了液體無泄漏輸送，也就是說能量傳遞是通過磁性聯(lián)軸器的磁場無接觸實現(xiàn)的。

關鍵詞：磁性聯(lián)軸器